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科研机构
上海微系统与信息技术... [8]
内容类型
学位论文 [8]
发表日期
2009 [3]
2008 [1]
2007 [1]
2006 [1]
2005 [1]
2004 [1]
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内容类型:学位论文
专题:上海微系统与信息技术研究所
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SOI基光耦合器与二维光子晶体研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
方娜
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘体上硅
微纳米光学
三维模斑转换器
微机械加工工艺
二维光子晶体
用于纳米梁自检测及驱动的MOS电容结构研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
成海涛
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/06
NEMS
谐振器
MOS 电容
耗尽驱动
表面损伤
相变存储器电子束曝光工艺研究与新结构制备
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
吕士龙
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2012/03/06
相变存储器
电子束曝光
混合光刻
新结构
新型绝热层
基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
陆荣
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/06
亚微米梁
自停止腐蚀
电化学腐蚀
原电池
纳米谐振器结构的加工技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
许科峰
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2012/03/06
MEMS/NEMS
谐振器
Q值
频率
碳纳米管在硅基衬底上的化学气相沉积生长研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
李聃
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2012/03/06
碳纳米管
化学气相沉积
多孔硅
压力传感器
AFM针尖
新结构SOI材料与器件物理研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
朱鸣
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘体上的硅(SOI)
自加热效应
浮体效应
等离子体浸没式离子注入
硫系化合物随机存储器关键相变材料与器件单元工艺研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2004
刘波
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/06
硫系化合物随机存储器
相变材料
器件单元
电学性能
纳电子器件
离子注入
聚焦离子束
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