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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 转动竖直微镜的硅微机械光开关研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2004 杨艺榕   收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/03/06 微机械  光开关  竖直微镜  球透镜     硅基微机械光开关研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 王浙辉   收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/03/06 微机械  光开关  硅微加工技术  插入损耗     MEMS器件的设计、模拟与测试 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2001 车录锋 收藏  |  浏览/下载：75/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  压力传感器  加速度传感器  微机械陀螺  静电致动器  有限元模型  等效电路模型  机械耦合