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新型全硅LIGA掩模板制造工艺研究 其他
2000-01-01
陈迪; 雷蔚; 王水; 张大成; 伊福廷; 李昌敏; 郭晓芸; 毛海平
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非硅三维微加工新技术-DEM技术 其他
1999-01-01
陈迪; 雷蔚; 丁桂甫; 张大成
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