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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究 会议论文 第十四届全国压力计量与测试技术学术交流会论文集中国计量测试学会压力计量专委会, 桂林, 2014-10-13 作者:  史慧超;  樊尚春 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/01/06 谐振式压力传感器 双端固支谐振梁 不确定度分析 随机模型   惯性环境下的MEMS电容式谐振器偏移量分析 会议论文 2010’全国第十三届微波集成电路与移动通信学术会议, 2010 刘保庆; 董林玺; 王晓迪; 吴艳; 孙玲玲 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/01/18 用于纳米梁位移检测的MOS电容下压阻结构 会议论文 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009 成海涛; 杨恒; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2012/01/18 金属氧化物半导体 纳米梁 位移检测 压阻结构   基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究 会议论文 传感技术学报, 2006 赵全斌; 焦继伟; 杨恒; 林梓鑫; 李铁; 张颖; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/18 双端固支硅纳米梁 压阻检测 Ar离子轰击 谐振特性