惯性环境下的MEMS电容式谐振器偏移量分析

CORC > 上海微系统与信息技术研究所 > 中文期刊、会议、专利、成果 > 国内会议论文

	惯性环境下的MEMS电容式谐振器偏移量分析
	刘保庆 ; 董林玺 ; 王晓迪 ; 吴艳 ; 孙玲玲
	2010
会议名称	2010’全国第十三届微波集成电路与移动通信学术会议
会议日期	2010
中文摘要	介绍了MEMS电容式谐振器及其工作原理，研究了运动状态下谐振器振子的偏移量情况，通过ANSYS软件对三种常用结构的MEMS电容式谐振器进行了偏移量的仿真，探讨了运动状态下三种谐振器尺寸与其振子偏移量之间的关系，得出了双端固支梁式与方形角支撑式谐振器在运动状态下振子的偏移量较小，对谐振器性能影响几乎可以忽略不计，而圆形Wine-Glass式谐振器在运动状态下振子的偏移量较大，可达磁盘与电极的间距的10％，对谐振器性能影响不容忽视的结论。为优化MEMS电容式谐振器的设计和提高谐振器的性能提供了参考。
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7389457.aspx
会议录	2010’全国第十三届微波集成电路与移动通信学术会议论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55823]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	刘保庆,董林玺,王晓迪,等. 惯性环境下的MEMS电容式谐振器偏移量分析[C]. 见:2010’全国第十三届微波集成电路与移动通信学术会议. 2010.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7389457.aspx.