| 基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究 | |
| 史慧超; 樊尚春 | |
| 2014 | |
| 会议名称 | 第十四届全国压力计量与测试技术学术交流会论文集中国计量测试学会压力计量专委会 |
| 会议日期 | 2014-10-13 |
| 会议地点 | 桂林 |
| 关键词 | 谐振式压力传感器 双端固支谐振梁 不确定度分析 随机模型 |
| 页码 | 13-16,19 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6549735 |
| 专题 | 北京航空航天大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 史慧超,樊尚春. 基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究[C]. 见:第十四届全国压力计量与测试技术学术交流会论文集中国计量测试学会压力计量专委会. 桂林. 2014-10-13. |
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