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一种微机械系统MEMS二维扫描镜扫描角度的测量装置 专利
申请日期: 2012-05-02,
作者:  孙剑;  尤政;  张弛;  张潮;  史浩天
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一种单频太赫兹光源 专利
专利类型: 发明, 专利号: 101964500A, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2014-01-20
作者:  楼柿涛;  张志鹏;  张宝顺;  秦华
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一种单频太赫兹光源 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN 101964500 B, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-09-25
作者:  秦华;  张志鹏;  张宝顺
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用于光纤传感器的多功能探测芯片及其制作方法与封装方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-11-17, 公开日期: 2012-08-29
刘永顺; 吴一辉; 张平; 黎海文; 郝鹏; 刘桂根; 邓永波
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聚合物基底双平面电磁线圈的制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-03-26, 公开日期: 2012-08-29
刘波; 张平; 吴一辉; 王淑荣; 刘永顺; 张涛
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一种悬臂梁结构、制作方法及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101066749, 申请日期: 2007-11-07, 公开日期: 2007-11-07
王跃林; 车录锋; 熊斌; 范克彬
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对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101038298, 申请日期: 2007-09-19, 公开日期: 2007-09-19
车录锋; 徐玮鹤; 熊斌; 戈肖鸿; 王跃林
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一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1844938, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2006-10-11
吴亚明; 赵本刚; 徐静; 刘玉菲; 高翔; 李四华
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高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1844937, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2006-10-11
吴亚明; 赵本刚; 高翔; 刘玉菲; 徐静
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凸点连接气密封装微机械系统器件的结构及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1817784, 申请日期: 2006-08-16, 公开日期: 2006-08-16
王立春; 罗乐
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