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在单硅片上单面微加工制作的悬臂梁加速度传感器及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101968495A, 申请日期: 2011-02-09, 公开日期: 2011-02-09
李昕欣; 王家畴
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非致冷红外探测器的低温真空封装结构及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101691200A, 申请日期: 2010-04-07, 公开日期: 2010-04-07
熊斌; 徐德辉; 王跃林
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一种测试加速度,压力和温度的集成硅芯片及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101551403, 申请日期: 2009-10-07, 公开日期: 2009-10-07
李昕欣; 王权
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一种基于表面微机械加工的绝对压力传感器芯片及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101487747, 申请日期: 2009-07-22, 公开日期: 2009-07-22
王权; 李昕欣; 鲍敏杭
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表面等离子体共振的生物传感器的生物芯片、制备及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101303354, 申请日期: 2008-11-12, 公开日期: 2008-11-12
曹慧敏; 李雪岭; 黄明辉; 赵建龙; 杨梦苏
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基于硅硅键合和绝缘层上硅的压力传感器芯片及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101271028, 申请日期: 2008-09-24, 公开日期: 2008-09-24
武爱民; 陈静; 王曦; 魏星; 张波; 王曦
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硅硅键合的绝缘体上硅的高温压力传感器芯片及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101266176, 申请日期: 2008-09-17, 公开日期: 2008-09-17
武爱民; 陈静; 王曦; 魏星; 张波; 王曦
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一种低温圆片级微型气体盒的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1827522, 申请日期: 2006-09-06, 公开日期: 2006-09-06
刘玉菲; 吴亚明; 李四华; 刘文平
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用于驱动聚合酶链式反应微芯片阵列的温度控制方法及装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1687391, 申请日期: 2005-10-26, 公开日期: 2005-10-26
杨梦苏; 邹志青; 金庆辉; 陈翔; 周洪波; 赵建龙; 徐元森
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聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1552887, 申请日期: 2004-12-08, 公开日期: 2004-12-08
赵建龙; 邹志青; 周天; 陈飞; 徐元森
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