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消除接触孔工艺中桥接的方法 专利
专利号: CN201110208407.X, 申请日期: 2016-05-18, 公开日期: 2013-01-30
作者:  王桂磊;  李俊峰;  赵超
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一种用于进气结构的匀气盘 专利
专利号: CN201110388396.8, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2012-05-02
作者:  李楠;  席峰;  李勇滔;  张庆钊;  夏洋
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纳米柱/针森林结构的图形化加工方法 专利
专利号: CN201410609901.0, 申请日期: 2015-08-12, 公开日期: 2015-01-28
作者:  雷程;  欧文;  毛海央;  王岩;  唐力程
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提高隔离氧化物CMP均匀性的方法 专利
专利号: CN201110257855.9, 申请日期: 2015-05-20, 公开日期: 2013-03-13
作者:  王桂磊;  杨涛;  李俊峰;  赵超
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半导体器件及其形成方法 专利
专利号: CN201010512128.8, 申请日期: 2015-03-18, 公开日期: 2012-05-09
作者:  赵超;  钟汇才;  王文武
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一种气体分析装置及方法 专利
专利号: CN103487593, 申请日期: 2014-06-18,
作者:  宗明成;  魏志国;  马向红;  黄有为;  徐天伟
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多个耿氏二极管耦合增大毫米波振荡源的功率输出 专利
专利号: CN201210233913.9, 申请日期: 2014-04-02, 公开日期: 2012-10-17
作者:  武德起;  贾锐;  金智;  刘新宇;  叶甜春
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用于Te-N共掺氧化锌薄膜的制备方法 专利
申请日期: 2012-12-11,
作者:  卢维尔;  夏洋;  李超波;  解婧;  张阳
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基于原子层沉积的共掺氧化锌薄膜的制备方法 专利
申请日期: 2012-12-11,
作者:  李超波;  解婧;  夏洋;  卢维尔
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用于提高氧化锌薄膜P型稳定性的方法 专利
申请日期: 2012-12-11,
作者:  李超波;  李楠;  解婧;  卢维尔;  夏洋
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