一种气体分析装置及方法

	一种气体分析装置及方法
	宗明成; 魏志国; 马向红; 黄有为; 徐天伟
	2014-06-18
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN103487593
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明提供一种具有原位标定功能的气体分析装置。所述装置包括：取样室，与待测腔室通过第一阀门相连，用于引入待测腔室的样品气体；分析室，与取样室通过第二阀门相连，分析室上设有真空规管，用于监测分析室的真空度；气体分析器，设于分析室内，用于对待分析气体进行分析测试；标定模块，用于向气体分析器提供标准气体，对气体分析装置进行定量标定。本发明还提供一种气体分析方法。本发明通过标定模块对气体分析装置进行定期标定，通过加热器进行烘烤除气，并通过吹扫放气模块进行气体吹扫及保护气充入，保持系统持续具备良好的测试本底，保证测试准确性，可实现十亿分之一量级的气体浓度测试，尤其适用于对EUV真空环境进行气体分析检测。
申请日期	2013-09-18
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/13006]
专题	微电子研究所_微电子仪器设备研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	宗明成,魏志国,马向红,等. 一种气体分析装置及方法. CN103487593. 2014-06-18.