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| 一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法 专利
申请日期: 2018-04-13,
作者: 蒋维乐; 于明智; 赵立波; 贾琛; 李支康
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| 一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法 专利
申请日期: 2018-01-19,
作者: 赵立波; 黄琳雅; 蒋维乐; 胡英杰; 王久洪
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| 一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法 专利
申请日期: 2017-10-20,
作者: 赵立波; 胡英杰; 黄琳雅; 李支康; 赵玉龙
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| 一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法 专利
申请日期: 2017-10-20,
作者: 赵立波; 黄琳雅; 胡英杰; 李支康; 赵玉龙
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| 一种基于导电油墨的力传感器芯片及其3D打印制作方法 专利
申请日期: 2017-10-13,
作者: 赵玉龙; 刘明杰; 赵友; 邵一苇; 刘传奇
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| 一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片 专利
申请日期: 2017-04-26,
作者: 田边; 李华峰
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| 一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片 专利
申请日期: 2017-02-22,
作者: 赵玉龙; 李波; 李村; 程荣俊; 赵建华
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| 一种基于非晶态碳膜的加速度传感器芯片 专利
申请日期: 2017-01-04,
作者: 赵玉龙; 马鑫; 张琪; 胡腾江; 王鹏
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| 微压电加速度传感器芯片及其制作方法 专利
申请日期: 2016-05-04,
作者: 田边; 刘汉月; 杨宁
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| 低侧向效应微压电加速度传感器芯片及其制作方法 专利
申请日期: 2016-02-24,
作者: 田边; 刘汉月; 杨宁
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