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	一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法
	赵立波; 黄琳雅; 胡英杰; 李支康; 赵玉龙; 蒋庄德
	2017-10-20
URL标识	查看原文
申请日期	2017-07-04
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2926340
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	赵立波,黄琳雅,胡英杰,等. 一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法. 2017-10-20.

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