CORC  > 西安交通大学
一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法
赵立波; 黄琳雅; 蒋维乐; 胡英杰; 王久洪; 李支康; 苑国英; 赵玉龙; 蒋庄德
2018-01-19
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申请日期2017-09-20
内容类型专利
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2938834
专题西安交通大学
推荐引用方式
GB/T 7714
赵立波,黄琳雅,蒋维乐,等. 一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法. 2018-01-19.
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