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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：Engineering     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Monolithic Integration of Pressure Plus Acceleration Composite TPMS Sensors With a Single-Sided Micromachining Technology 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012, 卷号: 21, 期号: 2, 页码: 284-293 Wang, JC; Xia, XY; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/04/23 Accelerometer  front-side monolithic micromachining  piezoresistance  pressure sensor  sensor   Micromachining of multi-thickness sensor-array structures with dual-stage etching technology 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2001, 卷号: 11, 期号: 3, 页码: 239-244 Li,XX; Bao,MH 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2011/12/17 SILICON