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科研机构
半导体研究所 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2016 [1]
2002 [2]
学科主题
微电子学 [3]
半导体器件 [1]
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学科主题:微电子学
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基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究
学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
吕兴东
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/06/02
MEMS驱动器
洛伦兹力
折叠梁
大位移
可变光衰减器
射频开关
快速响应SOI马赫曾德热光调制器
期刊论文
半导体学报, 2002, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 509-512
魏红振
;
余金中
;
夏金松
;
严清峰
;
刘忠立
;
房昌水
收藏
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2010/11/23
4 * 4区域调制多模干涉耦合器SOI光波导开关的设计
期刊论文
半导体光电, 2002, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 174-177
严清峰
;
余金中
;
刘忠立
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2010/11/23
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