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一种承片台 专利
专利号: CN201510520156.7, 申请日期: 2018-11-09, 公开日期: 2016-01-06
作者:  夏洋;  李楠;  陈波
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一种环形振荡器 专利
专利号: CN201510370007.7, 申请日期: 2018-04-27, 公开日期: 2015-10-07
作者:  乔树山;  谢正章;  赵慧冬
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一种化学机械抛光后芯片表面形貌评测方法及系统 专利
专利号: CN201410643976.0, 申请日期: 2018-04-06, 公开日期: 2016-06-01
作者:  曹鹤;  陈岚;  马天宇
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一种半导体器件参数提取装置及方法 专利
专利号: CN201510049824.2, 申请日期: 2018-03-23, 公开日期: 2015-04-29
作者:  常虎东;  刘洪刚;  刘桂明;  周佳辉
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