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远程等离子体辅助原子层沉积技术制备HfO2薄膜及HfO2/Ge界面性质研究 学位论文
2016, 2016
池晓伟
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/06/20
原子层沉积HfO2薄膜及其1D1R器件阻变特性研究 学位论文
2016, 2016
陆超
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2017/06/20
Passivation effect of atomic layer deposition of al2o3 film on hgcdte infrared detectors 期刊论文
Journal of electronic materials, 2016, 卷号: 45, 期号: 9, 页码: 4716-4720
作者:  Zhang, Peng;  Ye, Zhen-Hua;  Sun, Chang-Hong;  Chen, Yi-Yu;  Zhang, Tian-Ning
收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2019/05/09
Annealing Temperature Dependent Electrical Properties and Leakage Current Transport Mechanisms in Atomic Layer Deposition-Derived Al2O3-Incorporated HfO2/Si Gate Stack 期刊论文
JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2016, 卷号: 16, 期号: 8, 页码: 8075-8082
作者:  Gao, Juan;  He, Gang;  Zhang, Jiwen;  Chen, Xuefei;  Jin, Peng
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2017/11/21
原子层沉积工艺制备催化薄膜厚度对生长碳纳米管阵列的影响 期刊论文
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2016, 卷号: 31, 期号: 7, 页码: 681-686
作者:  Yang Chao;  Li Ying;  Yan Lu;  Cao Yun-Zhen
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2017/02/27
Ultrathin coating of confined pt nanocatalysts by atomic layer deposition for enhanced catalytic performance in hydrogenation reactions 期刊论文
Chemistry-a european journal, 2016, 卷号: 22, 期号: 25, 页码: 8438-8443
作者:  Wang, Meihua;  Gao, Zhe;  Zhang, Bin;  Yang, Huimin;  Qiao, Yan
收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2019/05/09
Modification of electrical properties and carrier transportation mechanism of ALD-derived HfO2/Si gate stacks by Al2O3 incorporation 期刊论文
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2016, 卷号: 667, 期号: 无, 页码: 352-358
作者:  Gao, Juan;  He, Gang;  Sun, Zhaoqi;  Chen, Hanshuang;  Zheng, Changyong
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2017/10/18
Thermal atomic layer deposition of TaAlC with TaCl5 and TMA as precursors 期刊论文
ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2016
作者:  Xiang JJ(项金娟)
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2017/05/09
Investigation of N type metal TiAlC by thermal atomic layer deposition using TiCl4 and TEA as precursors 期刊论文
ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2016
作者:  Xiang JJ(项金娟);  Li TT(李亭亭);  Wang XL(王晓磊);  Li JF(李俊峰)
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/05/09
Properties and Morphology of TiN Films Deposited by Atomic Layer Deposition 期刊论文
2016, 2016
Siyi Xie; Jian Cai; Qian Wang; Lu Wang; Ziyu Liu; Siyi Xie; Jian Cai; Qian Wang; Lu Wang; Ziyu Liu
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