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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2016    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文 中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655 作者:  才玺坤;  梅林;  武潇野;  贺健康;  时光 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/09/17 离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性   离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文 中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363 作者:  张立超;  贺健康;  梅林;  武潇野;  时光 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/09/17 离子束溅射  光学薄膜  沉积速率  二维拟合  膜厚均匀性