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金属研究所 [2]
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期刊论文 [2]
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2015 [2]
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多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析
期刊论文
真空科学与技术学报, 2015, 期号: 6
郎文昌
;
高斌
;
杜昊
;
肖金泉
;
谢婷婷
;
王向红
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提交时间:2016/04/19
机械式旋转磁控弧源
旋转不对称偏心轴向磁场
旋转偏心横向磁场
旋转偏心四极对顶磁场
旋转偏心拱形磁场
旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响
期刊论文
真空科学与技术学报, 2015, 期号: 3
郎文昌
;
赵彦辉
;
肖金泉
;
宫骏
;
孙超
;
于宝海
;
闻立时
收藏
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提交时间:2016/04/19
旋转横向磁场
电弧离子镀
有限元分析
阴极弧斑运动
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