旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响

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	旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响
	郎文昌 ; 赵彦辉 ; 肖金泉 ; 宫骏 ; 孙超 ; 于宝海 ; 闻立时
刊名	真空科学与技术学报
	2015-03-15
期号	3
关键词	旋转横向磁场电弧离子镀有限元分析阴极弧斑运动
中文摘要	研究了旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响规律,采用有限元分析软件FEMM对旋转横向磁场的分布进行了模拟,考察了不同频率(80~210 Hz)及电磁线圈励磁电流对弧斑运动的影响。从电弧斑点放电的物理机制出发,探讨了不同频率和磁场线圈电流对电弧离子镀弧斑运动的影响机制。结果表明,随着旋转横向磁场强度和频率的提高,使弧斑逐渐从聚集的斑点态(或者弱分散的团絮态)转变为大面积分布在靶面较强的分散弧斑絮线,最后转变为完全分布在整个靶面的强分散弧斑线,弧斑分裂强烈,产生的弧光等离子体更加均匀细腻。随着瞬态弧斑线在靶面分布面积的增加,弧压增加,弧电流密度急剧下降,靶材利用率达到85%以上。旋转横向磁场的应...
语种	中文
公开日期	2016-04-19
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/74507]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	郎文昌,赵彦辉,肖金泉,等. 旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响[J]. 真空科学与技术学报,2015(3).
APA	郎文昌.,赵彦辉.,肖金泉.,宫骏.,孙超.,...&闻立时.(2015).旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响.真空科学与技术学报(3).
MLA	郎文昌,et al."旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响".真空科学与技术学报 .3(2015).