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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2015    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 超大口径光学制造的静压支撑系统集成与控制 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 256-264 作者:  胡海飞;  罗霄;  戚二辉;  胡海翔;  郑立功 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2016/07/06 光学制造  均力静压支撑  调整精度  超大口径反射镜  在线加工检测   光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文 光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56 作者:  陈华男;  郭抗;  张玲花;  刘健;  尚红波 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/07/06 光刻投影物镜  X-Y向柔性调节机构  减速机构  柔性铰链   大光栅刻划机刻划系统结构设计与刻线弯曲误差机械修正 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  宋楠 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/11/30 大光栅刻划机  刻划系统  光栅刻线弯曲误差  机械修正方法  气浮导轨   精确可调单簧片式施压机构在摩擦驱动中的应用 期刊论文 机械设计与研究, 2015, 期号: 01, 页码: 1-4 作者:  陈琦 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/07/06 等应力簧片  簧片刚度  偏心轮  摩擦驱动   光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文 光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39 作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/07/06 耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法