光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计

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	光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计
	陈华男; 郭抗; 张玲花; 刘健; 尚红波
刊名	光电工程
	2015-06-15
期号	06 页码:50-56
关键词	光刻投影物镜 X-Y向柔性调节机构减速机构柔性铰链
中文摘要	X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链,设计柔性二级减速机构,并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上,对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计。进一步,运用有限元分析法,分析了该X-Y向柔性调节机构的性能。分析结果表明,该机构调节行程大于±20μm,机构位移输入?输出关系稳定,传动比约11.9,理论调节精度约8.4 nm,机构单方向驱动刚度为0.473μm/N;机构开环单轴运动时,耦合误差与主运动比值为7.1%;机构1阶模态频率大于200 Hz。该X-Y向柔性调节机构能够应用到光刻投影物镜中。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53638]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	陈华男,郭抗,张玲花,等. 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计[J]. 光电工程,2015(06):50-56.
APA	陈华男,郭抗,张玲花,刘健,&尚红波.(2015).光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计.光电工程(06),50-56.
MLA	陈华男,et al."光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计".光电工程 .06(2015):50-56.