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一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器 专利
申请日期: 2014-07-23,
作者:  赵玉龙;  程荣俊;  李村;  田边
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基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究 期刊论文
计测技术, 2014, 卷号: 34, 页码: 13-16,19
作者:  史慧超;  樊尚春
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基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究 会议论文
第十四届全国压力计量与测试技术学术交流会论文集中国计量测试学会压力计量专委会, 桂林, 2014-10-13
作者:  史慧超;  樊尚春
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