CORC  > 北京航空航天大学
基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究
史慧超; 樊尚春
刊名计测技术
2014
卷号34页码:13-16,19
关键词谐振式压力传感器 双端固支谐振梁 不确定度分析 随机模型
ISSN号1674-5795
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6549825
专题北京航空航天大学
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GB/T 7714
史慧超,樊尚春. 基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究[J]. 计测技术,2014,34:13-16,19.
APA 史慧超,&樊尚春.(2014).基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究.计测技术,34,13-16,19.
MLA 史慧超,et al."基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究".计测技术 34(2014):13-16,19.
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