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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2012    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 王军诚 收藏  |  浏览/下载：99/0  |  提交时间：2013/04/24 压阻式三轴集成加速度传感器  抗过载  SIP微模块  芯片级封装   硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 张志强 收藏  |  浏览/下载：150/0  |  提交时间：2013/04/24 芯片级原子钟  激光键合  键合强度  气密性  多层缓冲原子腔   芯片级原子钟的气密性能分析 期刊论文 真空科学与技术学报, 2012, 期号: 2, 页码: 132-139 张志强; 徐静; 李绍良; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/02/22 芯片级原子钟  多层缓冲原子腔  气密性  毛细管等效气流模型  Matlab仿真