芯片级原子钟的气密性能分析

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	芯片级原子钟的气密性能分析
	张志强 ; 徐静 ; 李绍良 ; 吴亚明
刊名	真空科学与技术学报
	2012
期号	2 页码:132-139
关键词	芯片级原子钟多层缓冲原子腔气密性毛细管等效气流模型 Matlab仿真
ISSN号	1672-7126
中文摘要	基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳定性和寿命。建立了一个"毛细管等效气流模型"模拟多层缓冲原子腔的泄漏以分析原子腔的气密性能,应用Matlab仿真对比了单层密封、多层密封、添加保护腔等不同方式下气密性能的改善幅度。仿真结果验证了"多层缓冲原子腔"在提高CPT CSAC物理系统气密性能方面的可行性和有效性,为原子腔的设计提供指导。
收录类别	CNKI2012-027
语种	中文
公开日期	2013-02-22
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/110929]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	张志强,徐静,李绍良,等. 芯片级原子钟的气密性能分析[J]. 真空科学与技术学报,2012(2):132-139.
APA	张志强,徐静,李绍良,&吴亚明.(2012).芯片级原子钟的气密性能分析.真空科学与技术学报(2),132-139.
MLA	张志强,et al."芯片级原子钟的气密性能分析".真空科学与技术学报 .2(2012):132-139.