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线位移测量方法及测量装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-01, 公开日期: 2012-08-29
吴宏圣; 孙强; 曾琪峰; 卢振武; 乔栋
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光栅线位移测量方法及测量装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-08-29
吴宏圣; 卢振武; 乔栋; 孙强; 赵建; 曾琪峰
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ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-05-02, 公开日期: 2012-08-29
邓文渊; 金春水; 靳京城
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