| ＡｒＦ激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 (发明) | |
| 邓文渊 ; 金春水 ; 靳京城 | |
| 2012-05-02 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种ＡｒＦ激光光学薄膜元件综合偏振测量装置，该装置的ＡｒＦ准分子激光器、ＡｒＦ准分子激光扩束准直装置、可变光阑、起偏器、分束器、样品台沿主光轴顺序放置；参比光偏振探测装置位于分束器的反射光路上，样品台位于分束器的透射光路上；透射光偏振测量装置固定安装在第一可旋转支撑臂上，反射光偏振探测装置固定安装在第二可旋转…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201110272811.3 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12091]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓文渊,金春水,靳京城. ＡｒＦ激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 (发明). 2012-05-02. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论