| 光栅线位移测量方法及测量装置 (发明) | |
| 吴宏圣 ; 卢振武 ; 乔栋 ; 孙强 ; 赵建 ; 曾琪峰 | |
| 2012-07-25 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种光栅线位移测量方法及测量装置，该方法首先使扫描单元相对于标尺光栅在测量方向上以设定间隔移动，每移动到一个测量位置，信号处理单元计算出位置原始测量值，同时利用激光测长干涉仪得到位置精确测量值，并由此得到测量误差数据；然后基于误差拟合曲线得到标尺光栅的栅线刻划误差数据，并将其固化于位置误差数据存储单元。实际测…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201210088642.2 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12230]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴宏圣,卢振武,乔栋,等. 光栅线位移测量方法及测量装置 (发明). 2012-07-25. |
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