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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2011     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 新型解耦式微陀螺的研究与设计及关键制造工艺的开发 学位论文 2011, 2011 闫鑫 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/02/14 微机械系统  陀螺  耦合误差  MEMS  Gyroscope  Coupling Error   反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响 期刊论文 半导体技术, 2011, 期号: 01 戚玉婕; 车录锋; 孙腾; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/04/13 电容式加速度计  反馈补偿参数  Q值  微机械系统  MATLAB   静电激励MEMS微结构吸合电压尺寸效应研究 期刊论文 固体力学学报, 2011, 卷号: 32, 期号: 6, 页码: 541-548 作者:  王炳雷;  周慎杰;  赵俊峰;  陈曦 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/23 尺寸效应  应变梯度理论  微机械系统  吸合电压   微机电系统中的声学推进器和探测器 学位论文 2011 作者:  王自昱 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/05 微型机械系统  ZnO薄膜  薄膜体声学谐振器