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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2011    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 在单硅片上单面微加工制作的悬臂梁加速度传感器及方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101968495A, 申请日期: 2011-02-09, 公开日期: 2011-02-09 李昕欣; 王家畴 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2012/01/06 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/13 压阻式加速度传感器  表面微机械技术  片上静电自检测功能   低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文 传感器与微系统, 2011, 期号: 11 杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/04/13 加速度计  热机械噪声  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼   基于静电力的微液滴驱动芯片 期刊论文 传感器与微系统, 2011, 期号: 02 刘翔; 高安然; 李铁; 周萍; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/04/13 微流控  液滴  静电驱动  共平面电极