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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2011    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 毫米波全息成像系统前端收发阵列天线与开关的集成结构 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: CN202004155U, 申请日期: 2011-10-05, 公开日期: 2011-10-05 孙晓玮; 刘传全; 时翔; 孙浩; 李凌云; 关福宏; 钱蓉; 汪书娜 收藏  |  浏览/下载：102/0  |  提交时间：2012/01/06 低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文 传感器与微系统, 2011, 期号: 11 杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/04/13 加速度计  热机械噪声  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼   低热机械噪声的梳齿式加速度计 期刊论文 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 10 杨丹琼; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/04/13 低噪声加速度计  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼