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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2011    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 防止浮体及自加热效应的MOS器件结构及其制造方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101986435A, 申请日期: 2011-03-16, 公开日期: 2011-03-16 肖德元; 王曦; 黄晓橹; 陈静 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/06 实现源体欧姆接触的SOI MOS器件制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101950723A, 申请日期: 2011-01-19, 公开日期: 2011-01-19 陈静; 伍青青; 罗杰馨; 肖德元; 王曦 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2012/01/06 基于静电力的微液滴驱动芯片 期刊论文 传感器与微系统, 2011, 期号: 02 刘翔; 高安然; 李铁; 周萍; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/04/13 微流控  液滴  静电驱动  共平面电极