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科研机构
大连理工大学 [2]
内容类型
专利 [1]
会议论文 [1]
发表日期
2009 [2]
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发表日期:2009
专题:大连理工大学
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外切磁场对ICP增强非平衡磁控溅射沉积Cu的影响
会议论文
第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20
作者:
齐雪莲
;
马腾才
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提交时间:2019/12/24
非平衡磁控溅射
Cu
ICP
等离子体密度
离子密度
电子温度
电离度
电子密度
导电膜
空间分布
会切磁场约束ICP增强电离的非平衡磁控溅射薄膜沉积装置
专利
申请日期: 2009-01-01, 公开日期: 2009-07-08
作者:
任春生
;
张家良
;
王德真
;
王友年
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提交时间:2019/12/24
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