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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2009    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 射频感应耦合Ar-CF_4等离子体物理特性的Langmuir探针测量 会议论文 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20 作者:  高飞;  王友年 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24 电子温度  感应耦合  电子密度  Ar-CF_4  Langmuir  等离子体物理  能量分布  测量研究  实验研究结果   外切磁场对ICP增强非平衡磁控溅射沉积Cu的影响 会议论文 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20 作者:  齐雪莲;  马腾才 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24 非平衡磁控溅射  Cu  ICP  等离子体密度  离子密度  电子温度  电离度  电子密度  导电膜  空间分布   双频容性耦合等离子体研究进展 会议论文 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20 作者:  姜巍;  毕振华;  李志成;  常大磊;  杨烁 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/24 容性耦合  离子能量  鞘层  电子温度  电子密度  甚高频  下电极  原子密度  放电间隙  应腔   低功率YAG激光-熔化极气体弧焊复合焊接电弧等离子体行为研究 期刊论文 中国激光, 2009, 卷号: 36, 页码: 3167-3173 作者:  刘黎明;  黄瑞生;  曹运明 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24 激光技术  激光复合焊接  电弧等离子体  发射光谱  电子温度与电子密度  局部热力学平衡