| 射频感应耦合Ar-CF_4等离子体物理特性的Langmuir探针测量 | |
| 高飞; 王友年 | |
| 2009 | |
| 会议名称 | 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会 |
| 会议日期 | 2009-07-20 |
| 会议地点 | 中国辽宁大连 |
| 关键词 | 电子温度 感应耦合 电子密度 Ar-CF_4 Langmuir 等离子体物理 能量分布 测量研究 实验研究结果 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5286848 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 物理与光电工程学院 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高飞,王友年. 射频感应耦合Ar-CF_4等离子体物理特性的Langmuir探针测量[C]. 见:第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会. 中国辽宁大连. 2009-07-20. |
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