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科研机构
上海微系统与信息技术... [8]
内容类型
期刊论文 [4]
专利 [2]
成果 [2]
发表日期
2005 [8]
学科主题
Physics, M... [1]
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发表日期:2005
专题:上海微系统与信息技术研究所
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微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1603743, 申请日期: 2005-04-06, 公开日期: 2005-04-06
李昕欣
;
陈雪萌
;
宋朝辉
;
王跃林
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06
一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1570651, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2005-01-26
李昕欣
;
程保罗
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2012/01/06
V取代TiCr基储氢合金中部分Cr对储氢性能的影响
期刊论文
中国有色金属学报, 2005, 期号: 01
黄太仲
;
吴铸
;
冯尚龙
;
陈金舟
;
夏保佳
;
徐乃欣
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/01/06
退火
热扩散
薄膜电阻
一种新结构硅微机械压阻加速度计
期刊论文
传感技术学报, 2005, 期号: 03
陈雪萌
;
李昕欣
;
宋朝晖
;
王跃林
;
黄晖
;
黄树森
;
张鲲
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06
集成光学
光波导
硅
键合
深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器
成果
鉴定: 无, 2005
未知
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2013/04/12
深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器及其制造方法
成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣
;
王跃林
;
张锟
;
陆德仁
;
熊斌
;
罗乐
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/04/12
微型PEMFC非增湿膜电极的优化
期刊论文
电池, 2005, 期号: 05
张熙贵
;
夏保佳
;
刘娟英
;
王涛
;
钦佩
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06
密集波分复用
阵列波导光栅
SOI
偏振
双折射
The oxygen in- and out-diffusion behavior in melt-textured YBCO measured by thermogravimetry
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2005, 卷号: 54, 期号: 7, 页码: 3380-3385
Zhang, YL
;
Xin, Y
;
Hong, Z
;
Jin, YP
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL DIFFUSION
SINGLE-CRYSTAL
RESISTANCE RELAXATION
TRACER DIFFUSION
YBA2CU3O7-DELTA
BA2YCU3O7-DELTA
SUPERCONDUCTOR
TRANSPORT
INTERCALATION
YBA2CU3O6+X
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