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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2003    内容类型：会议论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用IBED方法在SOI上制备高质量的氧化铪薄膜 会议论文 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003 邢玉梅; 陶凯; 俞跃辉; 宋朝瑞; 郑志宏 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2012/01/18 IBED方法 SOI 氧化铪薄膜 离子束辅助增强沉积系统 X射线衍射技术 电介质绝缘性能   离子束增强沉积二氧化钒多晶薄膜的成膜机理 会议论文 光电子技术与信息/2003.8增刊, 2003 李金华; 袁宁一 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/01/18 二氧化钒薄膜 离子束增强沉积 成膜机理