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高能物理研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
1995 [2]
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发表日期:1995
专题:高能物理研究所
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电铸在LIGA技术中的应用
期刊论文
微细加工技术, 1995, 期号: 3, 页码: 49-52
作者:
伊福廷
;
晋明
;
吴坚武
;
冼鼎昌
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2015/12/07
微细加工
LIGA技术
电铸
LIGA技术的掩模制造
期刊论文
微细加工技术, 1995, 期号: 2, 页码: 33-37
作者:
伊福廷
;
吴坚武
;
晋明
;
冼鼎昌
;
刘金声
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2015/12/07
同步辐射光刻
X光曝光掩模
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