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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 翟雷应 收藏  |  浏览/下载：54/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS  Fabry-Perot腔可调滤波器  光纤相位调制器  无交叠垂直梳齿驱动器   基于MEMS技术的Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2004 向民   收藏  |  浏览/下载：57/0  |  提交时间：2012/03/06 F-P干涉仪  微机电系统  可调光学滤波器  自由谱域  介质薄膜