| 题名 | 基于MEMS技术的Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究 |
| 作者 | 向民 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2004 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | F-P干涉仪 微机电系统 可调光学滤波器 自由谱域 介质薄膜 |
| 学位专业 | 微电子与固体电子学 |
| 中文摘要 | 可调谐光学滤波器是现代光通信系统和传感器网络的关键器件，利用微机电系统(MEMS)技术的法布里—珀罗(Fabry-Perot)腔可调光学滤波器以其体积小、性能高、成本低等优点成为众多解决方案中有力的竞争者之一。本论文以该类型滤波器为研究对象，从理论与实际工艺制备等方面对其进行了探索。 论文阐述了F-P干涉仪的一般理论，利用矩阵法计算了多种的四分之一波堆光学介质薄膜的反射率和反射相移。以此为基础，较为系统地研究了高反射镜面的反射相移及其色散对短腔长的F-P干涉仪光学性能的影响。首次从理论上解释了由高反射镜面 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82806]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 向民 . 基于MEMS技术的Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2004. |
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