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科研机构
上海微系统与信息技... [31]
内容类型
期刊论文 [31]
发表日期
2011 [3]
2009 [5]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Integrated Gm-C based PI controller for MEMS gyroscope drive loop
期刊论文
Proceedings of International Conference on ASIC.Proceedings - 2011 IEEE 9th International Conference on ASIC, ASICON 2011, 2011, 期号: 0, 页码: 858-861
Wu, Huan-Ming
;
Yang, Hai-Gang
;
Cheng, Xiao-Yan
;
Yin, Tao
;
Jiao,JW
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/08/28
Performance improvement of Sb2Te3 phase change material by Al doping
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2011, 卷号: 257, 期号: 24, 页码: 10667-10670
Peng,C
;
Wu,LC
;
Song,ZT
;
Rao,F
;
Zhu,M
;
Li,XL
;
Liu,B
;
Cheng,LM
;
Feng,SL
;
Yang,PX
;
Chu,JH
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/04/10
ELSEVIER SCIENCE BV
Performance improvement of Sb2Te3 phase change material by Al doping
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2011, 卷号: 257, 期号: 24, 页码: 10667-10670
Peng, C
;
Wu, LC
;
song, zt(重点实验室)
;
Rao, F
;
Zhu, M
;
Li, XL
;
Liu, B(重点实验室)
;
Cheng, LM
;
Feng, SL(重点实验室)
;
Yang, PX
;
Chu, JH
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2013/05/10
Chemistry
Materials Science
Physics
Physics
Physical
Coatings & Films
Applied
Condensed Matter
Effect of Al Content on Structure and Electrochemical Characteristics of Re0.8Mg0.2(Ni(0.85-x)Co(0.15)Alx)(3.5) Hydrogen Storage Alloys
期刊论文
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING, 2009, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 451-455
Cheng, LF
;
Wang, RB
;
Pu, CH
;
Wang, BG
;
Li, ZL
;
Lou, YW
;
He, DN
;
Yang, CZ
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2011/11/08
ELECTRODE ALLOYS
Fabrication of Submicron Beams with Galvanic Etch Stop for Si in TMAH
期刊论文
SENSORS, 2009, 卷号: 9, 期号: 4, 页码: 2470-2477
Lu, R
;
Wu, YH
;
Cheng, HT
;
Yang, H
;
Li, XX
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2011/12/17
A non-isothermal model for squeeze film damping of rarefied gas
期刊论文
2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 213-216
Yang, H
;
Cheng, HT
;
Dai, B
;
Li, XX
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2011/12/17
POLYSILICON
REGIME
MEMS
Fabrication of Nanobeam using Focused Ion Beam (FIB) and KOH Etching
期刊论文
2009 4TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, VOLS 1 AND 2, 2009, 页码: 139-142
Cheng, HT
;
Yang, H
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2011/12/17
SILICON
RESONATORS
MICROSCOPY
SI
Fabrication of Submicron Beams with Galvanic Etch Stop for Si in TMAH
期刊论文
SENSORS, 2009, 卷号: 9, 期号: 1 Pages, 页码: 2470-2477
Lu, R
;
Wu, YH
;
Cheng, HT
;
Yang, H
;
Li, XX
;
Wang, YL
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/05/12
X-ray diffraction characterization of the microstructure of close-packed hexagonal nanomaterials
期刊论文
POWDER DIFFRACTION, 2008, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 213-223
Pu, ZH
;
Yang, CZ
;
Qin, P
;
Lou, YW
;
Cheng, LF
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/24
Two-dimensional dense-arrayed probe-cards with a hoe-shaped probing-tip micromachining technique
期刊论文
MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008, 页码: 343-346
Wang, F
;
Li, XX
;
Cheng, R
;
Yang, H
;
Wang, YL
;
Feng, SL
;
Ge, XH
;
Chen, T
;
Chen, LG
;
Sun, LN
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2011/12/17
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