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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Atomic layer deposition assisted pattern transfer technology for ultra-thin block copolymer films 期刊论文 Thin Solid Films, 2016 作者:  Chen WH(陈文辉);  Luo J(罗军);  Meng LK(孟令款);  Li JJ(李俊杰);  Xiang JJ(项金娟) 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/05/09 Device parameter optimization for sub-20 nm node HK/MG-last bulk FinFETs 期刊论文 Journal of Semiconductors, 2015 作者:  Zhao ZG(赵治国);  Luo J(罗军);  Yang H(杨红);  Meng LK(孟令款);  Hong PZ(洪培真) 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2016/05/31 Innovatively composite hard mask to feature sub-30nm gate patterning 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2014 作者:  Yan J(闫江);  Zhao C(赵超);  Meng LK(孟令款);  Li CL(李春龙) 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/05/06