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消除拍频噪声的可调谐单纵模光纤激光器 专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL200410067263, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
瞿荣辉; 杨敬; 孙国勇; 方祖捷; 韩秀友
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消除拍频噪声的可调谐单纵模光纤激光器 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL200420091196.1, 申请日期: 2005-11-09, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
瞿荣辉; 杨敬; 孙国勇; 方祖捷; 韩秀友
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光刻机照明系统的级联微透... 专利
专利号: ZL2013102274..., 公开日期: 2015-06-17
作者:  张方;  朱菁;  杨宝喜;  ...
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光刻机照明均匀性校正装置... 专利
专利号: ZL2017100007..., 公开日期: 2018-07-13
作者:  程伟林;  张方;  杨宝喜;  黄...
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