| 光刻机照明系统的级联微透... | |
| 张方; 朱菁; 杨宝喜; ... | |
| 著作权人 | 中国科学院上海光学精密机... |
| 专利号 | ZL2013102274... |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 公开日期 | 2015-06-17 |
| 申请日期 | 2013-06-07 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/31400]  |
| 专题 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张方,朱菁,杨宝喜,等. 光刻机照明系统的级联微透.... ZL2013102274.... |
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