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科研机构
合肥物质科学研究院 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2017 [1]
2014 [1]
2011 [1]
2010 [1]
学科主题
纳米科技与材料物理:... [1]
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Fabrication and characterization of He-charged ODS-FeCrNi films deposited by a radio-frequency plasma magnetron sputtering technique
期刊论文
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2017, 卷号: 19, 期号: 4, 页码: 1-8
作者:
Song, Liang
;
Wang, Xianping
;
Wang, Le
;
Zhang, Ying
;
Liu, Wang
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浏览/下载:155/0
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提交时间:2018/07/04
Radio-frequency Plasma Magnetron Sputtering
He-charged Fecrni-based Film
Nanoindentation Hardness
Elastic Recoil Detection
He Implantation
Deposition and Characterization of Mg Doped CuCrO2 Films by DC Magnetron Sputtering
期刊论文
key engineering materials, 2014, 卷号: 609-610, 期号: 无, 页码: 255-259
作者:
Wu Su-Zhen
;
Deng Zan-Hong
;
Dong Wei-Wei
;
Shao Jing-Zhen
;
Fang Xiao-Dong
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2015/11/17
能量过滤磁控溅射技术制备ITO薄膜及其特性研究
期刊论文
真空科学与技术学报, 2011, 卷号: 031
作者:
姚宁
;
常立红
;
韩昌报
;
邢宏伟
;
葛亚爽
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2020/11/23
ITO薄膜
光电性能
表面粗糙度
磁控溅射
能量过滤磁控溅射
Effect of Al content on the microstructure and mechanical properties of Mo–Al–Si–Nfilms synthesized by DC magnetron sputtering
期刊论文
Surface & Coatings Technology, 2010, 期号: 204
Z.G. Yuan
;
J.F. Yang
;
X.P. Wang
;
Q.F. Fang
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2011/09/22
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