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科研机构
上海光学精密机械研... [10]
内容类型
期刊论文 [6]
学位论文 [4]
发表日期
2016 [1]
2014 [5]
2010 [1]
2007 [2]
2005 [1]
学科主题
光学薄膜 [3]
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专题:上海光学精密机械研究所
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三倍频氧化物薄膜关键工艺研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
涂飞飞
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浏览/下载:72/0
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提交时间:2016/11/28
三倍频薄膜
紫外激光
缺陷
弱吸收
2-3微米激光薄膜水吸收特性研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
李豪
收藏
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浏览/下载:37/0
  |  
提交时间:2016/11/28
2-3μm
中红外光学薄膜
水吸收
吸附
退吸附
高性能193nm光学薄膜的制备与性能研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
孙建
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浏览/下载:193/0
  |  
提交时间:2016/11/28
193nm
氟化物
增透膜
高反膜
膜厚均匀性
Effects of substrate temperatures on the characterization of magnesium fluoride thin films in deep-ultraviolet region
期刊论文
appl. optics, 2014, 卷号: 53, 期号: 7, 页码: 1298
作者:
Sun, Jian
;
Shao, Jianda
;
Yi, Kui
;
Zhang, Weili
收藏
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浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2016/11/28
ELECTRON-BEAM EVAPORATION
OPTICAL-CONSTANTS
OXYGEN SENSOR
COATINGS
MGF2
GROWTH
MICROSTRUCTURE
LITHOGRAPHY
DEPOSITION
BOAT
Effects of substrate temperatures on the characterization of magnesium fluoride thin films in deep-ultraviolet region
期刊论文
appl. optics, 2014, 卷号: 53, 期号: 7, 页码: 1298
作者:
Sun, Jian
;
Shao, Jianda
;
Yi, Kui
;
Zhang, Weili
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2016/11/28
ELECTRON-BEAM EVAPORATION
OPTICAL-CONSTANTS
OXYGEN SENSOR
COATINGS
MGF2
GROWTH
MICROSTRUCTURE
LITHOGRAPHY
DEPOSITION
BOAT
Effects of substrate temperatures on the characterization of magnesium fluoride thin films in deep-ultraviolet region
期刊论文
appl. optics, 2014, 卷号: 53, 期号: 7, 页码: 1298
作者:
Sun, Jian
;
Shao, Jianda
;
Yi, Kui
;
Zhang, Weili
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/11/25
ELECTRON-BEAM EVAPORATION
OPTICAL-CONSTANTS
OXYGEN SENSOR
COATINGS
MGF2
GROWTH
MICROSTRUCTURE
LITHOGRAPHY
DEPOSITION
BOAT
2μm光学薄膜的设计、制备以及飞秒激光损伤特性研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
刘娜
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/11/28
2μm 波长
光学薄膜
水吸收
光学性能
飞秒激光
激光损伤
沉积温度对LaF3薄膜性能的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 1507, 1511
余华
;
崔云
;
申雁鸣
;
齐红基
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1112/222
  |  
提交时间:2009/09/22
Crystal structure
Deposition
Grain size and shape
Interferometers
Lanthanum compounds
Refractive index
Residual stresses
Spectrophotometers
Temperature
X ray diffraction
高真空室中的水蒸气对HfO2薄膜性能的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 8, 页码: 487, 489
凌波
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:780/92
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提交时间:2009/09/22
薄膜
水蒸气
光学性能
激光损伤
Electron beams
Evaporation
Laser damage
Microstructure
Optical properties
Physical properties
Q switched lasers
Refractive index
Spectrophotometers
Water vapor
X ray diffraction analysis
微缺陷对薄膜滤光片环境稳定性的影响
期刊论文
光子学报, 2005, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 873, 876
张东平
;
齐红基
;
方明
;
邵建达
;
范瑞瑛
;
范正修
收藏
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浏览/下载:685/61
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提交时间:2009/09/22
薄膜滤光片
Thin film filters
微缺陷
Microdefect
环境稳定性
Environment stability
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