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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 In situ aberration measurement method using a phase-shift ring mask 期刊论文 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2015, 卷号: 14, 期号: 1, 页码: 11005 作者:  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yang, Jishuo;  Duan, Lifeng;  Tang, Feng 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28 半导体激光正弦相位调制干涉测振技术的研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者:  李中梁 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2016/11/28 振动测量  干涉测量  光学检测  正弦相位调制   移相干涉术的高精度检测处理技术研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007 作者:  李永国 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/28 光学检测  移相干涉术  图像处理  相位分布  测量误差   基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术 学位论文 作者:  董冠极 收藏  |  浏览/下载：57/0  |  提交时间：2018/12/26 光学检测  Optical Measurement  像差  Aberration  泽尼克多项式  Zernike polynomials  点衍射干涉  Point-diffraction