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上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2006 [1]
2005 [3]
2004 [1]
学科主题
Engineerin... [1]
Instrument... [1]
Physics, M... [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Improvement of total-dose irradiation hardness of silicon-on-insulator materials by modifying the buried oxide layer with ion implantation
期刊论文
CHINESE PHYSICS, 2006, 卷号: 15, 期号: 4, 页码: 792-797
Zhang, EX
;
Qian, C
;
Zhang, ZX
;
Lin, CL
;
Wang, X
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
IMPLANTING NITROGEN
RADIATION RESPONSE
THERMAL OXIDES
SIMOX
CHARGE
ELECTRON
OXYGEN
HOLE
TRANSISTORS
TECHNOLOGY
Effect of nitrogen implantation technologies on total dose rad-hardness of SIMON materials
期刊论文
Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 1269-1272
Zhang, Enxia1
;
Qian, Cong1
;
Zhang, Zhengxuan1
;
Wang, Xi1
;
Zhang, Guoqiang2
;
Li, Ning2
;
Zheng, Zhongshan2
;
Liu, Zhongli2
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/03/24
Radiation hardness improvement of separation-by-implantation-of-oxygen/silicon-on-insulator material by nitrogen ion implantation
期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2005, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: L53-L56
Zhang, EX
;
Sun, JY
;
Chen, J
;
Zhang, ZX
;
Wang, X
;
Li, N
;
Zhang, GQ
;
Liu, ZL
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
CHARGE
OXYGEN
Research on the effect of nitrogen implantation doses on the structure of separation by implantation of oxygen and nitrogen
期刊论文
SMART MATERIALS & STRUCTURES, 2005, 卷号: 14, 期号: 4, 页码: N42-N45
Zhang, EX
;
Yi, WB
;
Chen, J
;
Zhang, ZX
;
Wang, X
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/24
ION-BEAM SYNTHESIS
BURIED LAYERS
SILICON
具有复合埋层的新型SIMON材料的制备
期刊论文
半导体学报, 2004, 期号: 07
易万兵
;
陈猛
;
张恩霞
;
刘相华
;
陈静
;
董业民
;
金波
;
刘忠立
;
王曦
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提交时间:2012/01/06
防锈油膜
失效
导电机制
p型半导体
n型半导体
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