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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
专利 [1]
成果 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
1996 [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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提高金属氧化物半导体器件场区抗总剂量的加固方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: 1845308, 申请日期: 2008-03-05, 公开日期: 2008-03-05, 2008-03-05, 2008-03-05, 2008-03-05
张恩霞
;
张正选
;
王曦 林成鲁 林梓鑫
;
钱聪
;
贺威
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浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2012/01/06
提高金属氧化物半导体器件场区抗总剂量的加固方法
成果
鉴定: 无, 2007
张恩霞
;
张正选
;
林成鲁
;
林梓鑫
;
钱聪
;
贺威
收藏
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浏览/下载:18/0
  |  
提交时间:2013/04/12
SIMOX材料制备中注入剂量优化研究
期刊论文
电子学报, 1996, 期号: 11
奚雪梅
;
李映雪
;
赵清太
;
王阳元
;
林成鲁
收藏
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浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2012/03/29
K1 SIMOX制备
注入剂量优化
埋氧化层微结构
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